真空體系的簡(jiǎn)略介紹及部分名詞

真空體系其實(shí)便是真空機組的一個(gè)相似的稱(chēng)呼，真空機組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環(huán)真空設備，它不見(jiàn)得有一些比如散熱器，冷凝器等等設備存在。而一般能稱(chēng)為真空體系的肯定是各種零部件齊全。真空使用設備品種繁多，但不管何種真空使用設備都有一套掃除被抽容器內氣體的抽氣體系，以便在真空容器內取得所需求的真空條件。舉例來(lái)說(shuō)：一個(gè)真空處理用的容器，用管道和閥門(mén)將它與真空泵連接起來(lái)，當真空泵對容器進(jìn)行抽暇時(shí)，容器上要有真空測量裝置，這就構成了一個(gè)最簡(jiǎn)略的真空抽氣體系。那么真空體系相比較于機組來(lái)說(shuō)有多少泵組成呢？這個(gè)是不確定的，咱們先來(lái)認識一下可能存在的泵的名詞解釋。

(1)主泵：在真空體系中，用于取得所需求真空度來(lái)滿(mǎn)意特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油分散泵便是主泵。

(2)前級泵：用于保持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前裝備的旋片或滑閥泵便是前級泵。

(3)粗抽泵：從大氣壓下開(kāi)始抽氣，并將體系壓力抽到另一真空泵開(kāi)始作業(yè)的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，便是粗油泵。

(4)保持泵：在真空體系中，氣量很小時(shí)，不能有效地使用前級泵。為此裝備一種容量較小的輔佐泵來(lái)保持主泵作業(yè)，此泵叫保持泵。如分散泵出口處配一臺小型旋片泵，便是保持泵。

事實(shí)上簡(jiǎn)略的真空體系只是能取得一個(gè)粗真空，而想要取得高真空時(shí)，一般在真空體系中串聯(lián)一個(gè)高真空泵，比如羅茨泵和螺桿泵等都是取得高真空的泵。當串聯(lián)一個(gè)高真空泵之后，一般要在高真空泵的進(jìn)口和出口別離加上閥門(mén)，以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個(gè)油分散泵，為了避免大量的油蒸氣返流進(jìn)入被抽容器，一般在油分散泵的進(jìn)口加一個(gè)捕集器——水冷障板。根據要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵進(jìn)口放氣閥，散熱器等等，這樣就構成了一個(gè)較完善的高真空體系。